- X射线荧光光谱通常用于分析均匀样品中的成分含量。对于大多数样品来讲,样品中被激发的各个元素的X射线荧光只来自于样品表面,样品内部的X射线荧光被样品本身吸收了。所以,X射线荧光信号的强度与样品的厚度无关。这种样品称之为无限厚样品。
- 当样品很薄时,比如镀层样品,样品中被激发的X射线荧光可能会穿透镀层,镀层的厚薄会影响X射线荧光信号的强弱,镀层越厚,镀层中被激发的X射线荧光信号就越强。
- 当镀层的厚度或镀层的成分发生变化时,X射线荧光的信号会随之变化。通过建立镀层厚度和成分与X射线信号强度的关联关系,就可以分析镀层的厚度和成分。
当样品的厚度达不到无限厚时,如镀层样品,X射线荧光信号的强度取决于:
- 镀层越厚,对基底元素的X射线荧光信号的吸收就越严重
- 样品: (探测器窗膜)聚合物上镀了23 nm的Al
- 通过测量镀层材料中 Al Ka1 ,根据Al Ka1 的发射情况,计算铝镀层的厚度。
- 通过测量基底材料中Zn Ka1,根据铝镀层对 Zn Ka1 的吸收情况,计算铝镀层的厚度。