镀层测厚仪EDX2000A性能

工作原理

EDX（Energy Dispersive Spectrometry）即能量色散X射线荧光光谱分析仪采用的X射线荧光光谱分析原理。

X射线荧光分析原理：当样品中元素的原子收到高能X射线照射时，即发射出具有一定波长的特征X射谱线。特征谱线的波长与元素的原子序数（Z）有关，而与激发X射线的能量无关。所以测定谱线的波长，就可知道试样中含有什么元素（即定性分析）；测量谱线的强度，就可知该元素的具体含量（即定量分析）。

仪器工作原理：仪器高压电源给光管提供管压和管流，光管激发出连续的X射线荧光光谱线（即原级X射线），原级X射线照射到样品上，样品产生具有样品特征的X荧光谱线，经过探测器后变成电压信号，信号经过放大和数据采集后传送给计算机，经软件处理后*终获样品的测量结果。

Fp镀层厚度测试原理：如果考虑依次荧光，并将无限厚试样的荧光强度记为I∞，厚度为T的试样的荧光强度记为IT，则

其中IT为厚度为T的试用的荧光强度，I∞为试样镀层相同材料无限厚试用的荧光强度。将IT/ I∞为纵坐标，而将K=exp（-µ*sρT）作为横坐标，绘坐单镀层X荧光厚度曲线图下图示：

从上表也可以看出，X荧光测厚当镀层厚度达到一定厚度后，X光所测量的强度不再发生变化，这说明用X荧光测厚是一定限制的，过厚的样品则视为无限厚样品。

2.2仪器简介

产品名称：X荧光镀层测厚仪

产品型号：EDX2000A

（1）外形尺寸：485（W）×588（D）×505（H）mm

     样品腔尺寸：430（W）×400（D）×140（H）mm

（2）重量  60kg

（3）X射线源：

     X射线管：    W靶材

     X射线管电压： 5——50KV，可调

     X射线管电流:  50uA——1mA，可调

     X射线管制冷： 密闭型风冷

（4）准直系统：     标配￠0.2mm(可根据要求选配，优化的微区分析性能和XRF光路结构，实现高技术率，微小样品，快速定性定量分析)

（5）滤光片：       Al滤光片(可根据要求选配，高峰背比)

（6）X射线检测：  FSDD探测器（全市场*市场配置，高分辨率）

（7）样品观测配置

     样品照明： LED灯，上方垂直环绕照射

     观察：    彩色CCD变焦工业摄像头（配合深槽算法，实现凹槽，阶梯等异性样品测试）

     倍率：    15-25倍

     视野：    6 X 4.8mm

     变焦：    0-40mm

（8）Z轴调节：图像识别功能

              高度激光对焦

（9）电动XY高精度移动平台（实现鼠标点哪测）

        样品台尺寸：  320（W）× 265（D）mm

        移动范围：    100mm(X) × 100mm(Y)

        分辨率：      5um

        重复定位精度：  ＜10um（*定位）

        步进电机步距角： 1.8°

        载重量：         3 kg（无倾斜）

（10）Z轴升降平台：

       *升降幅度范围：0—140mm（高端上照式仪器中大行程）

（11）安全保护

      操作人员在未关高压的情况下打开屏蔽罩仪器会自动断高压，软件提醒，指示灯提醒等多重保护。

（12）数据采集

       4096道细分数据采集  （矩阵信号直观，简洁）

（13）X射线管工作情况监测系统

       软件画面显示当前的管压，管流，元素峰通道，记数率等。

 (14)  电源：

      电源输入：AC220±10%，5A，50/60HZ

2.2.1应用领域

l  金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量

l  金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试

l  电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析

l  首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业

2.2.2性能

l  上照式：可满足各种形状样品的测试需求（晶圆，芯片等高端行业，对测试面洁净度要求高）

l  高分辨率探头：提高分析的准确性，FSDD高达129eV

l  安全性：新一代光管良好的屏蔽作用，X射线的辐射基本为0；仪器上盖的测试自锁和高压电源紧急锁功能，形成了对操作者的全方位防护

l  测试组件可升降，激光测距系统，满足不同高度样品的非接触式测试          

l  高精度移动平台，支持智能定位测试，多点测试和网格测试模式

l  小准直器

l  可视化操作

l  智能的Fp测试软件，不需要标准样品，即可以实现多种制程的准确测试

l  相互独立的基体效应校正模型

l  一键测试按钮

l  鼠位测试点

l  大样品腔设计

l  测试口安全防护

l  智能防撞系统

2.2.3技术指标

l  元素分析范围从铝(Al)到铀(U)

l  一次可同时分析*多24个元素，5层镀层

l  仪器检出限：0.005um

l  镀层厚镀范围：0.005um—50um

l  多次测量重复性可达2%

l  长期工作稳定度为3%

部件及功能

1、翻盖  2、样品盖把手  3、高压指示灯 

4、视窗  5、电源开关 6、电源插口  7、USB接口  8、网口

安装环境要求：

1、房间内不应有强电磁干扰、易燃物和大量积尘，以及阳光直射；

2、工作温度：15℃—30℃

3、工作湿度：≤RH70%

4、电源适应能力：220V±5V，50Hz±1Hz