能量色散X荧光光谱仪EDX 2000A

产品说明、技术参数及配置

EDX 2000A全自动微区膜厚测试仪是天瑞仪器股份有限公司集多年X荧光膜厚测量技术，专门研发的一款上照式膜厚测试仪。相比于传统的镀层测厚设备，不仅在常规的传统电镀上表现更加优异，更能很好地满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。仪器外观简洁大方，通过自动化的X轴Y轴Z轴的三维移动 ， 双激光定位和保护系统 ， 实现对平面 、 凹凸 、 拐角 、 弧面等各种简单及复杂形态的样品进行快速对焦*分析。

应用领域

电镀行业
电子通讯
航天新能源
五金卫浴
电器设备
汽车制造
磁性材料
贵金属电镀
高校及科研所等

设计亮点

上照式设计，可适应更多异型微小样品的测试。
全新的光路，更短的光程，相较传统光路，信号采集效率提升2倍以上。
可变焦高精摄像头，搭配距离补正系统，不仅可适应微小产品，同时也兼顾了台阶，深槽，沉孔样品的测试需求。 
可编程多点测试，能自动完成对多个样品多个点的测试，大大提高测样效率。
自带数据校对系统，让您永远不再为数据突然变化而担心。

高硬件配置

采用进口高分辨率的FAST SDD探测器，高达140ev分辨率，能*地解析每个元素的特征信号，针对复杂底材以及多层复杂镀层，优势巨大。
进口的高功率大高压单元搭配进口大功率X光管，能很好的保障信号输出与激发的稳定性，同时，故障率也极大的降低。
高精度自动化的X轴，Y轴以及Z轴的三维联动，更*快速地完成对微小异型（如弧形、拱形、螺纹、球面等）测试点的定位。

软件界面

人性化的软件界面，让操作变得更加便捷。 
曲线的中文备注，让您的操作更易上手。
仪器硬件功能的实时监控，让您的使用更加放心。

一 产品概述

1， 特点

本仪器专门针对镀层厚度测量、镀层元素种类及含量的快速无损分析的需求，特设计该款仪器，其特点为以下几点：

 上照式

 测试组件可升降            

 高精度移动平台

 小准直器

 高分辨率探测器

 可视化操作

 激光自动对焦

 任意多个可选择的分析和识别模型

 相互独立的基体效应校正模型

 多变量非线性回收程序

 鼠位测试点

 良好的射线屏蔽

 大样品腔设计

 测试口安全防护

 探测器窗口保护装置

 

 

2， 测试指标

 元素分析范围从钾(K)到铀(U)

 一次可同时分析*多24个元素，5层镀层

 *薄可测试0.005um

 镀层厚镀0.005um—50um

 多次测量重复性可达2%

 长期工作稳定度为3%

   （注：多次重复性实验和长期稳定性实验是在准直器ϕ0.5mm 的条件下测试的，除小于0.1um较薄镀层大多数情况下够可以满足以上标准，RSD为相对标准偏差）

3,   应用领域

 金属镀层的电镀、化镀、热镀等镀层厚度分析测量

 金属表面阳极氧化等涂覆层厚度测试

 电镀液成分测试合、金镀层成分及厚度分析

 首饰定性半定量分析以及镀层厚度分析和检测机构、电镀行业

 

4,   标准配置

 开放式样品腔

 推拉式屏蔽罩

 SDD探测器

 信号检测电子电路

 高低压电源

 X光管

 探测器保护传感器

 计算机及喷墨打印机

 精密二维移动样品平台

 大行程升降测试框

 

二，开箱检验

     当您拆开仪器的包装，您将会看到如下物件：仪器、标样盒（Ag标样）、挂板（元素周期表、分析原理图）、配件包（电源线、USB线，网口数据线）

 

 

 

 

三, 产品详细规格说明

（1） 尺寸 485（W）×588（D）×505（H）mm

（2） 重量  60kg

（3） X射线源：

X射线管：    W靶材

X射线管电压： 5——50KV，可调

X射线管电流:  50——1mA，可调

X射线管制冷： 密闭型风冷

（4） 准直系统：     标配￠0.2mm(可根据要求选配)

（5） 滤光片：       Al滤光片(可根据要求选配)

（6） X射线检测 ：  SDD探测器

（7） 样品观测配置

样品照明：    LED灯，上方垂直照射

观察：        彩色CCD摄像头

倍率：        25倍

视野：        6 X 4.8mm

（8） 自动对焦功能

高度激光自动对焦。

（9） 电动XY高精度移动平台

样品台尺寸：  320（W）×265（D）mm

移动范围：    100mm(X),100mm(Y)

分辨率：      5um

重复定位精度：  ＜10um

步进电机步距角： 1.8°

载重量：         3 kg（无倾斜）

（10）Z轴升降平台：

*升降幅度范围：0—140mm

（11） *样品尺寸:

包含样品室时：430（W）×400（D）×140（H）mm

(特殊测试时，可以开盖测试，对样品长度无限制)

（12）安全保护

操作人员在未关高压的情况下拉起玻璃屏蔽罩仪器会自动断高压。

（13）数据采集

4096/2048道细分数据采集

（14）X射线管工作情况监测系统

软件画面显示当前的管压，管流，放大倍数，记数率。

(15)  电源：

电源输入：AC220±10%，5A，50/60HZ

 

四， 产品的结构和原理

1,  产品结构简介

 

  

1、翻盖  2、样品盖把手  3、高压指示灯  

l 视窗  5、电源开关 6、电源插口  7、USB接口  8、网口

 

 

    

 

 

 

2,  产品测试原理

 

 

                   X荧光分析测试框图

测试原理：

高压电源给光管提供管压和管流,光管激发出一个连续的X荧光谱线,X荧光照射到样品上会产生具有样品特征的X荧光,进入探测器后变成电压信号,信号经过放大和数据采集后送计算机处理,处理结果可以打印出来。

 

3,  高度激光对焦结构和原理:

定位原理：

光管的X荧光是垂直照射在样品上的，激光光路与光管的夹角是固定的并随着电机可以垂直升降，激光器通过发射和接收端能够测量出样品到激光器的距离，当我们设定好激光器的距离值后，就可以控制升降电机在固定的高度停止，从而保证了光管和样品的距离相等，完成高度定位。

 

4,  样品观测结构和原理:

结构原理：

为了让我们的样品观测更直观，保证我们视频中心，光管X荧光中心和高度激光点三点合一。我们用两个特殊材料制成的镜片改变了摄像头的光路。样品的成象光线先经过镜片进行变向，被摄像头接收。

5,  探头保护装置结构和原理:

激光的工作原理为左端发射端发射出一个长条的激光，接收端接收到激光后会在激光控制器上显示出当前接收到的光的强度值。当中间有物体挡掉一部分激光后，接收器所接收的光的强度会减少，并向主板发送警告信号，升降电机将会停止下降，保护探测器不受到碰撞。

 

五， 产品的安装

本章节介绍关于安装位置和仪器连接的注意事项，建议使用本机前阅读本章节内容。

1 安装注意事项：

安装环境要求：

①   房间内要配备冷暖空调、电脑、打印机等设备；

②   房间内不宜有水源、热源、强电磁干扰、易燃物和大量积尘，以及阳光直射。

2  避免将本机安装在以下环境：

l  湿度极高和温度极低的环境

应避免将本机安装在水、热水器、加湿器等附近，以及温度过低的环境中。如果温度过低，当仪器温度升高（至常温）时，仪器内会形成潮气，这样会毁坏电路板；雨水、湿气、和液体含有矿物质，会腐蚀精密部件。

大量积尘的环境  

灰尘会污染仪器的光路系统，导致仪器检测不准甚至无法检测。

l  易挥发或易燃物的附近。 

切勿将本机安装在酒精、油漆稀释剂或其他易燃物附近，如果易燃物质与本机内部的电气部件接触，可能会导致火灾或触电事故。

l  易受震动的位置 

应避免将本机安装在不平稳的桌子或支架上，如柔软表面、不平稳或易受剧烈震动的位置，否则可能导致本机跌落或翻倒，造成人身伤害和财产损失。

l  强电磁干扰的环境中。

避免将本机安装在电视机、高压电缆、大功率天线、电焊设备、收音机或类似电子设备的附近。

l  提供充足的安装空间 

应为本提供充足的安装空间，仪器每一侧距墙、门或其它器物的距离应保持在30cm以上，以便本机操作时不受限制。

3 仪器连接

1.  将电源线的一端连接仪器，一端连接接线板。

2.  将数据线的一端连接仪器、另一端连接电脑主机。

3.  USB延长线是用来控制摄像头的，一端连接仪器的USB的插槽，一端连接电脑主机的USB的插槽.

 

六， 产品的使用

1 操作注意事项

l  切勿尝试拆卸或改装本机，非*人员对仪器的处理会损坏仪器。

l 不要溅入液体或让任何异物掉入本机内。如果异物与本机内的电气部件接触，可能会引起短路并且导致火灾或触电事故。 

 

l  如果本机冒烟或发出异常噪音，应立即关闭主电源开关，从电源插座拔出电源线，然后致电当地的授权Skyray经销商。在这种情况下继续使用本机，可能会导致火灾或触电事故。同时应避免在电源插头附近放置物品，以便随时能够拔出本机的电源插头。

 

l 为安全起见，长时间不使用本机时（例如在夜间）请关闭本机的电源开关。此外，作为附加的安全措施，长期不使用本机时（例如连续的假期期间），请用防尘罩盖好，放在干燥、通风的安全之处，关闭主电源开关并且拔出电源线。 

2 仪器操作

⑴ 如何打开仪器电源：

首先检查电源、计算机、仪器之间是否已连线，并确定之间的连线正确无误后开启电源。开启电源的正确操作为：

① 打开电源开关

② 打开X荧光分析仪器主机电源开关

③ 打开打印机电源开关

④ 打开计算机主机电源开关

⑵ 如何把样品放入仪器检测：

① 抓住仪器盖把手往上推开——打开样品腔。

② 然后把待检测的样品放进样品腔中的测量窗口。

③ 抓住仪器盖把手往下压——关闭样品腔。

④ 重复以上步骤把检测完的样品取出

 

七， 产品的维护和保养

天瑞仪器是具有优良设计和工艺的产品，属高科技贵重精密仪器，应小心使用和保养。我们给予的以下建议，可帮助用户遵守保修条款和延长仪器的使用寿命。

建议：

1． 仪器应由专人使用并负责保管，任何其他人员在未经允许的情况下不得接触、操作和搬动仪器。

2． 仪器应配有交流净化稳压电源，以保证电源稳定。

3． 不要尝试拆开仪器，非*人员对仪器拆卸和组装会损坏仪器精密部件。

4． 仪器在使用、搬动和保管的过程中要特别小心，以免磕碰损坏内部元件和损伤外观。

5． 仪器在测量中要避免受到干扰，例如：受到电机、振动、电焊、电磁、高压等的干扰。

6． 仪器要时刻保持干燥，雨水、湿气和液体含有矿物质，会腐蚀精密部件。

7． 仪器不要在有灰尘或肮脏的地方存放和使用，否则会污染光路系统导致测量结果不准。

8． 仪器不要在温度过高的地方存放或使用，否则会缩短电子器件的使用寿命、毁坏电池。

9． 仪器不要在温度过低的地方存放或使用，否则当周围的温度升高（至常温）时，仪器内会形成潮气而导致电路板毁坏。

10．不要用腐蚀性化学试剂、强洗涤剂清洗或擦拭仪器，请用软布擦拭仪器灰尘，如有污点请用酒精棉球轻轻擦净。

11．若仪器放置不用时，请用防尘罩盖好，置于干燥、通风的安全之处。

12．在使用中要注意以下几点：

l  开启仪器电源开关时，动作要慢、不可用力过猛、以免损坏按键。

l  向样品腔放置样品时，要注意样品的洁净，不可使尘粒掉入其中，否则会污染X光管和探测器窗口，造成测量失准和探头损坏；同时，还要注意轻拿轻放（*使用镊子等器具取放样品），以免测量窗口的薄膜被破坏。

l  样品盖需要经常用酒精棉球清洁。

l  每次开机后，仪器都必须先预热30分钟，然后进行初始化，方可进行正常的检测工作。

l  测量不同类型的样品时，需从程序栏中选择其对应的选项，才能保证*的测量效果。

l  为使仪器能长期保持工作正常，需定期对仪器的各项参数进行测试，并进行调整。

注意：

若仪器及其配件不能正常工作，请及时与就近的Skyray办事处或授权服务中心联系。

 

八，常见故障分析和处理

    1，测量过程中高压指示灯不亮

在正常情况下，测试过程中的高压指示灯一直会“亮”起，若此时高压指示灯不亮，则可能是以下原因或故障：

仪器上的电源开关未开启时，仪器也就不能进入工作状态，高压指示灯也不可能亮起。这种情况较易判断。

解决方法：打开仪器的电源开关即可。

    2，高压坏了

当不正当操作将电压调节的太高，以至于其无法负荷的时候，高压就很容易被损坏。此时，如果确实排除了其它因素导致高压指示灯不亮时，就要考虑到有可能是高压坏。（当高压坏了，有时会伴有“吱吱”声。）

解决方法：及时与就近的Skyray办事处或授权服务中心联系，更换高压。

    3，其它硬件故障

当仪器在使用过程中出现了故障，同时又排除了各种可能性后仍然无法正常工作时，则有很有可能是其它硬件出现了故障。此时，我们建议用户不要随意拆开仪器进行内部检查，否则可能会损坏仪器内部元件，甚至对用户的安全造成威胁。如果用户一定要自行进行内部检查时，请务必切断所有电源。

解决方法：及时与就近的Skyray办事处或授权服务中心联系。

    4， 打印机故障及排除

 要打印出检测报告，必须给电脑配置合适的打印机。若打印机无法连接或正常工作，可能会出现以下情况：

⑴，连接完仪器后，找不到接口来连接打印机。

当您所安装的仪器为并口型时，将仪器与电脑主机连接后，电脑主机只两个并口型设备接口，一个已用于连接显示器，另一个已用于连接该仪器。所以，如果打印机也是并口型的，自然就无法连接。

解决方法：将打印机换成USB接口的打印机即可。

⑵，正确连接打印机后，打印机仍然无法正常工作。

可能原因：

l  打印机未开启 

l  电脑主机上的USB接口出了故障 

l  连接的数据线出了故障 

l  没有安装打印机驱动程序 

解决方法： 首先，检查打印机的电源开关是否已打开；若已打开，则应该检查打印机的驱动是否已安装，如果未安装驱动则迅速安装驱动即可；若以上两种情况都不存在，则应该检查连接打印机的数据线是否损坏，如果是就更换一根数据线即可；若数据线也正常，则有可能是主机的USB接口出现问题了，应该及时与就近的Skyray办事处或授权服务中心联系，考虑维修或更换仪器的USB接口。

九，注意事项

  1，特别提示

为了便于理解和引起您的注意，当涉及产品安全或需关注的信息时，我们将在本章节或在后面章节中按下列等级和特别的警示用语向您提示，这些特别的警示用语表示方法如下：

◆ 警告——表示对高度危险要警惕

◆ 小心——表示对中度危险要警惕

◆ 注意——表示对轻度危险要关注

◆ 切勿——表示需要禁止的操作

◆ 避免——表示安全或其它内容需关注

本章节中为您提供的安全信息并不是全部的，为了您的安全和利益，我们会根据需要将部分产品安全信息编排到说明书的对应章节中，不论这些安全信息置于何处，您均应仔细阅读。

同样，除了以特别的警示用语提出的注意事项外，对于说明书中的其它内容和介绍，您亦应予以同样的重视。

 

    2，重要安全注意事项说明

注意：

操作本机前请详细阅读这些“重要安全注意事项说明”。由于这些说明是用来避免伤害用户（或他人）或者损坏财产的，所以请务必注意这些说明。另外。除本手册中操作之外，切勿执行其他任何操作，以免导致意外事故或伤害。如果对本机的操作或使用方法不当，则可能会导致人身伤害和/或损坏本机，而这些所需的大量修理费可能不包括在“有限担保”条款之中。

   ⑴ 安装

   警告：

l 切勿将本机安装在酒精、油漆稀释剂或其他易燃物附近。

l 切勿将水杯、花瓶、花盆和其他盛水或液体的容器放在本机上。

l 切勿阻塞本机散热孔或阻碍本机散热。（违反以上规定，可能会导致火灾或触电事故。）

   小心：

l 切勿将本机安装在不平稳的台面（如：不平稳的桌面、地面或支架等）。

l 切勿将本机安装在柔软表面（如沙发、地毯等）。

l 切勿将本机安装在易受剧烈震动的位置。

（违反以上规定，可能造成机器损坏甚至带来人身伤害。）

  注意：

l 切勿将本机安装在潮湿或多尘处。

l 切勿将本机安装在靠近水或近水处。

l 切勿将本机安装在阳光直射处。

l 切勿将本机安装在高温处。

l 切勿将本机安装在靠近明火处。

（违反以上规定，可能造成机器损坏。）

   ⑵ 操作

警告：

l 请将电源线插头完全插入电源插座，否则可能会导致火灾或触电事故。

l 请将电源线远离热源，否则会导致电源线表层融化，从而导致火灾或触电事故。

l 拔出电源线时，务必手握电源插头，否则电源线受损可能会引起漏电，并导致火灾或触电事故。

切勿执行以下操作，否则可能导致火灾或触电事故：

1. 拆卸或改装本机。

2. 损坏或改装电源线；

3. 使用不在本手册的电压之列的电源；

4. 在电源线上放置重物；

5. 用力拉拽或过度弯曲电源线；

6. 用湿手插、拔电源插头；

7. 将电源线捆扎或打结；

8. 使用随机提供的电源线以外的其他电源线。

 注意：

l 仪器应配有交流净化稳压电源，以保证电压稳定。

l 请不要在电源插头周围堆放物品，以便紧急情况下能快速拔出插头。

l 如发现本机有冒烟、发热、异味或异常噪音等，请立即关闭电源开关、拔出电源插头，切勿继续使用本机。

3  仪器的使用和工作环境

    1，仪器的使用

注意：

使用本机，应具有一定的电脑基本常识，并经过我们公司*技术人员培训或指导后方可使用。同时，本机禁止儿童和孕妇接近并操作。

    2， 工作环境

警告：

为避免出现意外故障，电脑应在下述限定环境范围内工作：

内容	适应范围	备注
贮存运输温度	15℃—25℃
贮存运输相对湿度	≤70%
大气压	86kPa—106 kPa
电源适应能力	220V±5V，50Hz±60Hz
工作湿度	≤70%
工作温度	15℃—30℃

 

十、辐射安全性

 

本仪器是以X射线管为激发源的能量色散X射线荧光光谱仪，在断电与待机的情况下无任何X射线辐射产生。

仪器符合《衍射仪和荧光分析仪卫生防护标准》（GBZ115-2002）中剂量约束的要求。

符合《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）中对工作人员和公众年有效剂量限制的要求。

本仪器具有为防止X射线在正常操作情况下泄漏而设置的安全保护机构。如果处理不当可能会导致X射线泄漏。在使用仪器过程中不要轻易移动保护电路部分。不要改变机械机构，否则会影响安全运行。

 

低功率（≤5/50/100W根据仪器不同自己选）X 射线管、准直系统、滤光系统有效降低辐射量。

X射线管辐射屏蔽层防止了 X 射线的逸出。

产生辐射的机构全部位于机器内部，不需要对 X 射线校直校准，确保了仪器操作过程中探测不到任何辐射。

X 射线指示灯提醒使用者射线的产生。

误操作保护系统，防止射线遗漏。

独立的安全电路、三维迷宫式设计和应急安全联动锁装置，有效地保护了使用者的安全。

 

 

十一，维修声明

有限保修条款

在符合以下条款和条件的前提下，该EDX系列产品或者配件*（以下称“产品”）如有材料和工艺方面的不足，天瑞仪器有限公司将予以免费保修。

1．EDX系列产品以及所有EDX系列内部部件自购买该产品之日起12个月内予以保修；

2．有限保修条款仅适用于该产品的原消费购买者（以下称“消费者”），不针对购买二手产品者与通过其它合法或非法方式获取产品的*终用户。

3．有限保修条款仅适用于本说明书所列出的*（或地区）购买产品的消费者，有限保修条款仅在Skyray有意销售产品的*（或地区）有效。.

4．在有限保修期内，Skyray或其授权的服务网络会依Skyray的选择，使用新的或厂家重新制作的替换品来修理或者替换任何缺陷的产品或其部件，并将可正常使用的产品返还给消费者。修理或替换产品时所用的零件和人工都不对消费者收费。所有被替换的零件、电路板或设备都将成为Skyray的财产。仪器的外壳和装饰部件在消费者购买产品时未提出异议的，不列入保修条款之内。

5．修理过的产品将在原保修期剩下的时间里被保修。

6．应Skyray或其授权服务中心的要求，消费者必须提供购买收据或其它可证明购买日期和地点的信息。

7．在将产品送往Skyray及其授权服务中心和从这些地方送出的过程中的运输、发货和处理费用由消费者承担。

8．在以下任一情况下，消费将无权享受有限保修：

8．1 产品曾受到：非正常使用，非正常条件不当存储，暴露在潮湿环境中，暴露在过高或过低温度中或类似环境条件中，未授权的改变，未授权的连接，未授权的修理（包括但不仅限于在修理中使用未授权的备用部件），误用，疏忽，滥用，事故，改动，不正确的安装，不可抗力，食物或液体没落，操作的错误调整或其它出Skyray的合理控制的行为，包括消耗部件（如薄膜）的缺乏和电源线的断裂或损坏，除非这些是直接由材料或工艺的不足引起的，以及产品的正常磨损。

8．2 在适当的有限保修内，Skyray没有得到消费的关于产品的缺点或故障的通知。

8．3 产品系列号码或附件日期代码被去除、损坏或涂改。

8．4 产品并非由Skyray提供、不适于与Skyray一起使用的或用于其它用途的附件连接或一起使用。

9．如果在有限保修期内发生问题，消费者应按以下步骤采取行动：

9．1 消费者应将产品送回到购买的地方进行修理或替换。

9．2 如果按9．1条款执行不方便，消费者应联系就近的Skyray办事处或授权服务中心，以获得*近的授权服务中心的地址。

9．3 消费者应安排产品送到该授权服务中心，从设备上拆除产品的相关费用不包括在本有限保修条款中。

9．4 消费将收到不包括在有限保修中的所有部件以及人工的帐单，消费者应负责有关重新安装的费用。

9．6 如果产品送回Skyray时已过保修期，将采用Skyray的一般服务政策，向消费者收取有关费用。

10．任何关于商业性或对某种特定目的或用途的适用性的隐含保修条款，都限于前面列出的保修期内。否则，前述保修就是购买者仅有的补偿，而且替代其它所有明确的或隐含的保修。Skyray对偶然发生的或随之而来的损坏或预计会得到的利益或利润的损失，由于使用或无法使用产品导致的工作停止或数据的损失或损坏等情况不负法律责任。

11．本有限保修给予的利益附加于各*（或地区）实行的强制法令下的所有其它权利各赔偿。

12． Skyray不承担，也不授权其授权服务中心或个人或实体为其承担，任何出本有限保修中所明确提出的责任和义务的其它责任和义务。

13．所有保修信息、产品功能和规范可随时变化，恕不另行通知。

 

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